Parylene是上世紀六十年代中期美國Union Carbide公司開發的一種新型敷形涂層材料,它是一種對二甲苯聚合物,由分子結構的不同,可分為N型、C型、D型、HT型等。每種類型都具有不同的特性,要根據具體應用的確切性質選出最適宜的Parylen的種類。它可以涂敷到各種形狀的表面,在鹽霧、霉菌、潮濕、腐蝕性等惡劣環境中顯示了很好的隔離防護功能。
Parylene性質:
這種涂層逐漸形成一種均衡的、共形的薄膜,均勻覆蓋暴露在外的基底表層的邊角。Parylene的沉積不會產生液相或氣相的副產品,無需溶劑及其他受環保要求所限制的材料。Parylene的其他性質還包括:
·Parylene具有實用的絕緣和屏障特性,同時具有*端的化學惰性,不受針孔的困擾。它能防有機溶劑、防無機試劑且防酸。由于Parylene在整個過程中的任何階段都不會呈現液態,因而它不會聚集、橋接或者因為虹吸作用而產生液面彎曲。
·由于自身很薄,Parylene的機械減震和負載特性*小。這種材料可以涂抹在許多種基底的表面。這些基底包括玻璃、金屬、紙張、樹脂、塑料、陶瓷、鐵氧體,甚至人造橡膠以及粉末狀與顆粒狀物質等。
·Parylene的靜態和動態摩擦系數在0.25~0.33之間,其干膜的光滑程度對涂層材料的某些應用來說是一個重要的屬性。
Parylene材料的應用:
Parylene能在0.2μm厚時無針孔,5μm厚時耐1000V以上直流擊穿電壓,同時又是摩擦系數很低的一種自潤滑材料,化學惰性和阻隔性能優異。因此,在微電子機械系統中,Parylene除了作電介質材料外,還用作微型傳動機構和微型閥門的結構材料和防護材料。

Parylene N 聚對二甲苯,具有較強的滲透能力,能夠有效地在各種細縫或盲孔表面形成薄膜。它的介電常數*低(2.65)及耗散因子小,且隨外界頻率的增加變化不大;同時具有較佳的潤滑效果,主要用于橡膠、光學領域。

Parylene C 在芳烴上一個氫被氯原子取代,具有非常低的水分子和腐蝕性氣體的透過率,沉積生長速率也比N型快得多,是目前應用廣、防護效果好的粉材。

Parylene D 在芳烴上二個氫被二個氯原子取代,具有阻燃性。在更高溫度下具有相對更好的物理及電性能,同時與N、C型相比,具有更好的熱穩定性。

Parylene F 是苯環上的4個氫原子被氟取代,與C,N,D比較,其薄膜的介電強度高、介電常數低(即透波性能好),熱穩定性好。薄膜本身連續、致密、無針孔,短期耐溫可達450攝氏度,長期耐溫可達350攝氏度,并具有強的抗紫外線能力,更適合作為高頻微波器件的防護材料。
PARYLENE涂層特性表
阻隔特性
Parylene 氣體和潮濕的隔離性

物理特性
Parylene的物理和機械性能表

Parylene C涂敷電路板交變濕熱試驗結果
絕緣電阻(歐姆)MIL-STD-202方法302

電學特性

熱穩定性
Parylene的熱特性

